新中国成立后隶属中国科学院，前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所，曾命名中国科学院工学实验馆、中国科学院冶金陶瓷研究所， ，根据科研领域和科技发展目标的调整。

是我国最早的工学研究机构之一， 中国科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，2001年8月，更名为中国科学院上海微系统与信息技术研究所（以下简称上海微系统所），。